±0.1精度主軸冷卻器在劃片機(jī)晶圓加工工藝中的應(yīng)用

    隨著越來越多行業(yè)精密加工的需求，特別是半導(dǎo)體晶元加工方面，不單單對(duì)環(huán)境恒溫恒濕及凈化等級(jí)方面的環(huán)境要求，同時(shí)對(duì)加工機(jī)器主軸的精確恒溫冷卻更是要求嚴(yán)格，只有保證了機(jī)器的精確度才能保證加工出產(chǎn)品的精度。

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